Taun 2020, langkung ti samilyar chip diproduksi di dunya, anu sami sareng 130 chip anu dipiboga sareng dianggo ku unggal jalma di pangeusina.Tapi sanajan kitu, kakurangan chip panganyarna terus nunjukkeun yén jumlah ieu teu acan ngahontal wates luhur na.
Sanajan chip geus bisa dihasilkeun dina skala badag, ngahasilkeun aranjeunna teu hiji tugas gampang.Prosés manufaktur chip téh kompléks, sarta kiwari urang bakal nutupan genep hambalan paling kritis: déposisi, palapis photoresist, lithography, etching, implantation ion, sarta bungkusan.
Déposisi
Léngkah déposisi dimimitian ku wafer, anu dipotong tina silinder silikon murni 99,99% (ogé disebut "ingot silikon") sareng digosok nepi ka rengse pisan lemes, lajeng film ipis konduktor, insulator, atawa bahan semikonduktor disimpen. onto wafer, gumantung kana sarat struktural, ku kituna lapisan kahiji bisa dicitak dina eta.Léngkah penting ieu sering disebut "déposisi".
Nalika chip janten langkung alit sareng langkung alit, pola nyitak dina wafer janten langkung kompleks.Kamajuan déposisi, etsa sareng litografi mangrupikeun konci pikeun ngajantenkeun chip langkung alit sahingga nyababkeun neraskeun Hukum Moore.Ieu kalebet téknik inovatif anu ngagunakeun bahan énggal pikeun ngajantenkeun prosés déposisi langkung tepat.
Palapis Photoresist
Wafers lajeng dilapis ku bahan photosensitive disebut "photoresist" (ogé disebut "photoresist").Aya dua jenis photoresists - "photoresists positif" jeung "photoresists négatip".
Beda utama antara photoresists positip jeung négatip nyaéta struktur kimia bahan jeung cara photoresist meta pikeun cahaya.Dina kasus photoresists positif, wewengkon kakeunaan sinar UV robah struktur sarta jadi leuwih leyur, sahingga Nyiapkeun eta pikeun etching na déposisi.Photoresists négatip, di sisi séjén, polymerize di wewengkon kakeunaan cahaya, nu ngajadikeun eta leuwih hese ngabubarkeun.Photoresists positif anu paling dipaké dina manufaktur semikonduktor sabab bisa ngahontal resolusi nu leuwih luhur, nyieun eta pilihan hadé pikeun tahap lithography.Ayeuna aya sababaraha perusahaan di sakumna dunya anu ngahasilkeun photoresists pikeun manufaktur semikonduktor.
Fotolitografi
Photolithography penting pisan dina prosés manufaktur chip sabab nangtukeun sabaraha leutik transistor dina chip bisa.Dina tahap ieu, wafers disimpen kana mesin photolithography tur kakeunaan sinar ultraviolét jero.Sababaraha kali aranjeunna rébuan kali leuwih leutik batan sisikian keusik.
Cahaya diproyeksikan kana wafer ngaliwatan "pelat topeng" sareng optik litografi (lensa sistem DUV) ngaleutikan sareng museurkeun pola sirkuit anu dirarancang dina piring topeng kana photoresist dina wafer.Sakumaha ditétélakeun saméméhna, nalika lampu pencét photoresist nu, parobahan kimiawi lumangsung nu imprints pola dina piring topeng onto palapis photoresist.
Meunangkeun pola kakeunaan persis bener mangrupakeun tugas tricky, kalawan interferensi partikel, réfraksi sarta defects fisik atawa kimiawi sejenna kabeh mungkin dina prosés.Éta sababna sakapeung urang kedah ngaoptimalkeun pola paparan ahir ku cara khusus ngabenerkeun pola dina topéng pikeun ngajantenkeun pola anu dicitak sapertos anu dipikahoyong.Sistem kami nganggo "litografi komputasi" pikeun ngagabungkeun model algoritmik sareng data tina mesin litografi sareng wafer tés pikeun ngahasilkeun desain topéng anu béda pisan sareng pola paparan ahir, tapi éta anu urang hoyong ngahontal sabab éta hiji-hijina cara pikeun meunangkeun pola paparan nu dipikahoyong.
Etching
Lengkah saterusna nyaéta ngaleupaskeun photoresist didegradasi pikeun nembongkeun pola nu dipikahoyong.Salila prosés "etch", wafer dipanggang sareng dikembangkeun, sareng sababaraha photoresist dikumbah pikeun nembongkeun pola 3D saluran terbuka.Prosés etching kudu ngabentuk fitur conductive persis tur konsistén tanpa compromising integritas sakabéh jeung stabilitas struktur chip.Téhnik etching canggih ngamungkinkeun pabrik chip ngagunakeun pola ganda, quadruple na spacer basis pikeun nyieun dimensi leutik desain chip modern.
Kawas photoresists, etching dibagi kana tipe "garing" jeung "baseuh".Etching garing ngagunakeun gas pikeun nangtukeun pola kakeunaan dina wafer nu.Etching baseuh ngagunakeun métode kimiawi pikeun ngabersihan wafer.
A chip boga puluhan lapisan, jadi etching kudu dikawasa taliti ulah ngaruksak lapisan kaayaan struktur chip multi-lapisan.Lamun tujuan etching nyaeta nyieun rongga dina struktur, perlu pikeun mastikeun yén jero rongga persis katuhu.Sababaraha desain chip nepi ka 175 lapisan, kayaning 3D NAND, ngajadikeun hambalan etching utamana penting jeung hésé.
Ion suntik
Sakali pola ieu etched onto wafer nu, wafer ieu bombarded ku ion positif atawa négatif pikeun nyaluyukeun sipat conductive bagian tina pola.Salaku bahan pikeun wafers, bahan baku silikon teu insulator sampurna atawa konduktor sampurna.Sipat konduktif Silicon digolongkeun wae di antara.
Ngarahkeun ion muatan kana kristal silikon supados aliran listrik bisa dikawasa pikeun nyieun saklar éléktronik anu blok wangunan dasar chip, transistor, disebut "ionisasi", ogé katelah "implantation ion".Saatos lapisan geus ionized, photoresist sésana dipaké pikeun ngajaga wewengkon un-etched dipiceun.
Bungkusan
Rébuan léngkah anu diperlukeun pikeun nyieun chip dina wafer a, sarta waktu nu diperlukeun leuwih ti tilu bulan pikeun pindah ti desain ka produksi.Pikeun miceun chip tina wafer, éta dipotong kana chip individu nganggo ragaji inten.chip ieu, disebutna "bare paeh," dibeulah ti wafer 12 inci, ukuran paling umum dipaké dina manufaktur semikonduktor, sarta alatan ukuran chip variasina, sababaraha wafers bisa ngandung rébuan chip, sedengkeun nu sejenna ngandung ukur sababaraha. belasan.
Ieu wafers bulistir lajeng disimpen dina "substrat" - substrat anu ngagunakeun foil logam pikeun ngarahkeunnana sinyal input jeung kaluaran ti wafer bulistir ka sesa sistem.Ieu lajeng katutupan ku "panas tilelep", a leutik, wadahna pelindung logam datar ngandung coolant pikeun mastikeun yén chip tetep tiis salila operasi.
Profil Perusahaan
Zhejiang NeoDen Téhnologi Co., Ltd. geus manufaktur sarta exporting rupa pick leutik tur mesin tempat saprak 2010. Nyokot kauntungan tina R & D ngalaman euyeub urang sorangan, produksi ogé dilatih, NeoDen meunang reputasi hébat ti konsumén sakuliah dunya.
kalawan ayana global di leuwih 130 nagara, kinerja alus teuing, akurasi tinggi jeung reliabilitas NeoDenmesin PNPngajantenkeun aranjeunna sampurna pikeun R&D, prototyping profésional sareng produksi batch leutik sareng sedeng.Urang nyadiakeun solusi profésional hiji eureun SMT parabot.
Tambahkeun: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Kota Huzhou, Propinsi Zhejiang, Cina
Telepon: 86-571-26266266
waktos pos: Apr-24-2022